真空鋁釬焊爐特點

抽真空系統(tǒng)

真空鋁釬焊的關(guān)鍵工藝參數(shù)之一是高真空度和足夠的抽氣量，以跟上加熱循環(huán)期間由于鎂蒸發(fā)而發(fā)生的大量脫氣。典型的真空鋁釬焊爐具有大型擴散泵和前級泵來滿足這些要求

給定鋁釬焊爐所需的泵送能力取決于負載，特別是被釬焊的負載表面積。負載表面積越大，所需的泵送能力就越大。由于大多數(shù)鎂汽化發(fā)生在 10-4 到 10-5 托范圍內(nèi)，因此擴散泵必須使用足夠的前級泵來處理磁爆期間的氣體負荷。

為了便于在爐中抽真空，真空容器周圍的冷卻夾套在高于環(huán)境溫度下運行。這種溫暖的壁設(shè)計有助于防止當門打開裝載/卸載時容器內(nèi)的水蒸氣冷凝。

水蒸氣是鋁釬焊的大敵。它既減慢抽速又分解，將氧氣釋放到熔爐中。暖壁設(shè)計也被證明可以降低釬焊過程中形成的氧化鎂的結(jié)合強度，并最終凝結(jié)在腔室的內(nèi)壁上，從而使其更易于機械清潔。

真空鋁釬焊爐必須保持低泄漏率，以避免在釬焊循環(huán)期間外部氣氛進入爐內(nèi)。在整個釬焊循環(huán)中，真空質(zhì)量包含非常低的 PPM 氧氣。

具有低泄漏率的真空室的良好設(shè)計實踐通常包括盡可能少地使用管螺紋接頭，在 O 形圈的密封表面上使用 63 或更好的微拋光，并使用適合溫度的正確 O 形圈材料的密封區(qū)域。
                                                            

加熱元件

其他重要的工藝參數(shù)是精確的溫度控制和溫度均勻性。將熱電偶的傳感結(jié)放置在加熱元件附近可以更快、更準確地控制工藝參數(shù)。

通過利用布置在熱區(qū)內(nèi)的許多加熱控制區(qū)實現(xiàn)了 +/- 5 華氏度（3 攝氏度）的出色溫度均勻性。寬帶設(shè)計為工藝部件提供了一個巨大的輻射表面，這有助于更快的加熱和更好的溫度均勻性。

包含十到二十個單獨控制的加熱區(qū)的間歇式真空鋁釬焊爐非常普遍。加熱元件表面積占負載表面積的百分比很重要。加熱元件的表面積越大，該表面上的功率密度越低，導(dǎo)致元件溫度在穩(wěn)態(tài)均熱條件下僅略高于負載溫度。這對于確保負載的外表面不會過熱非常重要。參見圖 17，代表真空鋁釬焊爐的典型加熱元件。

可以并排處理兩個負載的真空爐也將利用兩個負載之間的中心加熱元件組。這種設(shè)計允許在雙重工作負載上均勻加熱所有表面。

真空鋁釬焊的清潔
在真空鋁釬焊爐上花費的大部分維護時間都用于清潔在釬焊過程中在腔室和熱區(qū)內(nèi)形成的氧化鎂沉積物
                                                                      

機械清洗是去除氧化鎂的常用方法。必須使用有色金屬刮刀從室壁和熱區(qū)護罩上刮除氧化鎂，以免產(chǎn)生會點燃快速燃燒的氧化物的火花。如果氧化鎂堆積太重且難以報廢，則可能必須使用空氣燃燒循環(huán)來幫助分解大的氧化物簇。從爐膛和熱區(qū)中去除大部分氧化物后，在將爐子重新投入生產(chǎn)之前，進行正常的真空燃盡以進一步調(diào)節(jié)爐子。

應(yīng)按照爐子制造商的具體說明清潔爐子上的擴散泵。

其他維護活動包括，每兩到六個月更換一次真空泵油，每年更換動態(tài)密封件，例如門密封件和提升閥密封件，以及每年更換千斤頂面板（工作熱電偶）部件?？刂茻犭娕几鼡Q應(yīng)遵循適用的指南。需要根據(jù)需要更換、清潔或重建真空傳感計。